Beschichtungsgerät sowie Methode zur Kontrolle der Schichtdicke um eine gleichmässige Schichtdicke zu erzielen

EP1271245 Art A3 22. Januar 2003

Anmelder: NEC Electronics Corporation, NEC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1271245
Aktenzeichen: EP02013101
Anmeldetag: 13. Juni 2002
Veröffentlichung: 22. Januar 2003
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/16B05C11/08B05D1/00B05C11/02H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NEC Electronics Corporation
NEC CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NEC

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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