Verfahren zur Ausbildung eines Resistmusters in Umgekehrt Verjüngter Form

EP1271249 Art A1 2. Januar 2003

Anmelder: AZ Electronic Materials USA Corp., Clariant Finance (BVI) Limited, Clariant International Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1271249
Aktenzeichen
EP01908330
Anmeldetag
6. März 2001
Veröffentlichung
2. Januar 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/26H01L21/027H05B33/22H05B33/14H05B33/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
AZ Electronic Materials USA Corp.
Clariant Finance (BVI) Limited
Clariant International Ltd.
Land
🇺🇸 USA
🇨🇭 Clariant

Clariant ist ein Schweizer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Muttenz, der Additive, Katalysatoren und Wirkstoffe für Industrie, Konsumgüter und Energieanwendungen herstellt.

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