Untersuchungsvorrichtung und Untersuchungs-Verfahren mit Elektronenstrahl und Bauelemente-Herstellungsverfahren mit der Untersuchungs-Vorrichtung
EP1271604
Art A1
2. Januar 2003
Anmelder: EBARA CORPORATION, Kabushiki Kaisha Toshiba 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1271604
- Aktenzeichen
- EP01978999
- Anmeldetag
- 2. November 2001
- Veröffentlichung
- 2. Januar 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/244H01J37/28G01N23/225
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- EBARA CORPORATION
Kabushiki Kaisha Toshiba - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
1.514 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Toshiba
Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.
13.642 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wagner, Karl H
München, Deutschland
2.990
Patente gesamt
33
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Wagner, Karl H., Dipl.-Ing
NoneMünchen