Dünnschicht-Anordnung und ihr Hersstellungsverfahren
EP1271626
Art A2
2. Januar 2003
Anmelder: National Institute for Materials Science, TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY, Fuji Electric Corporate Research and Development Ltd, Tokyo Institute of Technology 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1271626
- Aktenzeichen
- EP02254578
- Anmeldetag
- 28. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 2. Januar 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20H01L21/36
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- National Institute for Materials Science
TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Fuji Electric Corporate Research and Development Ltd
Tokyo Institute of Technology - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute for Materials Science
Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.
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🇯🇵
Tokyo Institute of Technology
Japanische technische Universität in Tokio mit Schwerpunkt auf Natur- und Ingenieurwissenschaften. Seit 2024 firmiert sie im Zuge einer Fusion als Institute of Science Tokyo.
739 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Beresford, Keith Denis Lewis
London, Großbritannien
4.132
Patente gesamt
33
Fachgebiete
38
Anmelder-Länder
Schwerpunkte