Verfahren zur Bildung eines Isolationsfilms und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbau-Elements

EP1271632 Art A1 2. Januar 2003

Anmelder: Panasonic Corporation, MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1271632
Aktenzeichen: EP02710479
Anmeldetag: 1. Februar 2002
Veröffentlichung: 2. Januar 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3105H01L21/336H01L21/8234H01L21/316H01L29/78H01L27/088

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Panasonic Corporation
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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