Verfahren zur Herstellung von gas- und flüssigkeitsundurchlässigen Schichten auf einem Substrat
EP1273676
Art A3
28. Januar 2004
Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG, Applied Films GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1273676
- Aktenzeichen
- EP02013237
- Anmeldetag
- 17. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 28. Januar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/32C23C14/06C23C14/10
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials GmbH & Co. KG
Applied Films GmbH & Co. KG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Schickedanz, Willi
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