Fluidkontrollvorrichtung
EP1273839
Art B1
7. April 2004
Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1273839
- Aktenzeichen
- EP02014569
- Anmeldetag
- 1. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 7. April 2004
- Erteilung
- 7. April 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F16K49/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fujikin Incorporated
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Fachgebiete
Vertreten von
Paul, Dieter-Alfred
Neuss, Deutschland
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15
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