Poliermittel für das Polieren von Halbleiterscheiben und Methode zur Herstellung von Halbleiteranordnungen unter Verwendung Dieses Poliermittels

EP1274123 Art A1 8. Januar 2003

Anmelder: Hitachi Chemical Company, Ltd., SHOWA DENKO K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1274123
Aktenzeichen
EP01921818
Anmeldetag
12. April 2001
Veröffentlichung
8. Januar 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Hitachi Chemical Company, Ltd.
SHOWA DENKO K.K.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi Chemical

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.

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🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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