Verfahren und Vorrichtung zur Endpunktbestimmung einer Reinigungsbehandlung einer Cvd Abscheidungsvorrichtung
EP1274877
Art B1
20. Januar 2010
Anmelder: Philips Semiconductors Inc., NXP B.V., Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1274877
- Aktenzeichen
- EP01924567
- Anmeldetag
- 29. März 2001
- Veröffentlichung
- 20. Januar 2010
- Erteilung
- 20. Januar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44H01J37/32B08B5/00B08B9/00C23C16/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Philips Semiconductors Inc.
NXP B.V.
Koninklijke Philips Electronics N.V. - Land
- 🇺🇸 USA
🇳🇱
NXP Semiconductors
Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.
7.918 Patente in unserer Datenbank
🇳🇱
Philips
Niederländisches Technologieunternehmen mit Sitz in Amsterdam, spezialisiert auf Medizintechnik, Diagnosegeräte, Patientenüberwachung sowie Gesundheits- und Wellnessprodukte.
45.047 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Schouten, Marcus Maria
Eindhoven, Niederlande
3.201
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Röggla, Harald
NoneWien
-
Duijvestijn, Adrianus Johannes
NoneEindhoven