Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur von Abbe Fehlern
EP1275036
Art B1
26. Oktober 2005
Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1275036
- Aktenzeichen
- EP01901835
- Anmeldetag
- 5. Januar 2001
- Veröffentlichung
- 26. Oktober 2005
- Erteilung
- 26. Oktober 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B19/39G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Electro Scientific Industries
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
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Schurack, Eduard F
München, Deutschland
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