Methode und Vorrichtung zur Messung Kritischer Dimensionen mit Rückkopplungsätzkontrolle

EP1275144 Art A1 15. Januar 2003

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1275144
Aktenzeichen
EP01902094
Anmeldetag
16. Januar 2001
Veröffentlichung
15. Januar 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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