Verteilung von Elektromigrationsbedingten Frühfehlern in Verbindungsstrukturen des Submikrometerbereichs
Anmelder: THE BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM, BOARD OF REGENTS THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1275145
- Aktenzeichen
- EP01927126
- Anmeldetag
- 17. April 2001
- Veröffentlichung
- 15. Januar 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- THE BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM
BOARD OF REGENTS THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.
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Fachgebiete
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