Verfahren und Vorrichtung, um den Durchbruch ultradünner dielektrischer Schichten festzustellen
EP1276144
Art B1
27. Februar 2019
Anmelder: IMEC VZW, IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELEKTRONICA CENTRUM VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1276144
- Aktenzeichen
- EP02447071
- Anmeldetag
- 22. April 2002
- Veröffentlichung
- 27. Februar 2019
- Erteilung
- 27. Februar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC VZW
IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELEKTRONICA CENTRUM VZW - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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