Optisches Reduktionssystem mit Kontrolle der Belichtungspolarisation

EP1277073 Art B1 15. November 2006

Anmelder: ASML Holding N.V., ASML US, Inc., Silicon Valley Group, Inc. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1277073
Aktenzeichen: EP01928795
Anmeldetag: 25. April 2001
Veröffentlichung: 15. November 2006
Erteilung: 15. November 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G02B27/28G02B17/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Holding N.V.
ASML US, Inc.
Silicon Valley Group, Inc.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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