Verfahren zur Messung der Diffusion eines Photochemisch Erzeugten Katalysators in Chemisch Verstärkten Resisten

EP1277085 Art A1 22. Januar 2003

Anmelder: Yale University, YALE UNIVERSITY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1277085
Aktenzeichen
EP01927101
Anmeldetag
17. April 2001
Veröffentlichung
22. Januar 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G03C1/73G03C5/00G03F7/00G03F7/004
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Yale University
YALE UNIVERSITY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Yale University

US-amerikanische private Forschungsuniversität in New Haven, Connecticut, gegründet 1701.

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