Substratverarbeitungsvorrichtung, Substratverarbeitungsverfahren und Belichtungsvorrichtung
EP1278231
Art A3
4. Oktober 2006
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1278231
- Aktenzeichen
- EP02254970
- Anmeldetag
- 16. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 4. Oktober 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
10.659 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Beresford, Keith Denis Lewis
London, Großbritannien
4.132
Patente gesamt
33
Fachgebiete
38
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
TBK
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TBK-Patent · München