Verfahren zum Abdichten einer Feinen Rille mit Siliziumdioxid Enthaltendem Material
EP1278238
Art B1
2. November 2011
Anmelder: AZ Electronic Materials USA Corp., Clariant International Ltd., Tonen General Sekiyu K.K. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1278238
- Aktenzeichen
- EP00937324
- Anmeldetag
- 20. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 2. November 2011
- Erteilung
- 2. November 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/312H01L21/762C23C18/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- AZ Electronic Materials USA Corp.
Clariant International Ltd.
Tonen General Sekiyu K.K. - Land
- 🇺🇸 USA
🇨🇭
Clariant
Clariant ist ein Schweizer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Muttenz, der Additive, Katalysatoren und Wirkstoffe für Industrie, Konsumgüter und Energieanwendungen herstellt.
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Vertreten von
Isenbruck, Günter
Mannheim, Deutschland
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Güthlein, Paul
NoneSulzbach
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Klunker . Schmitt-Nilson . Hirsch
Klunker . Schmitt-Nilson . Hirsch · München