Verfahren zur Herstellung selbstjustierender Maskenschichten

EP1278239 Art B1 21. September 2005

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1278239
Aktenzeichen
EP01117545
Anmeldetag
20. Juli 2001
Veröffentlichung
21. September 2005
Erteilung
21. September 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/32H01L21/8242H01L21/308H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Infineon Technologies AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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