Copolymere für Photoresistzusammensetzungen und Verfahren zur Herstellung

EP1278786 Art B1 4. Januar 2006

Anmelder: E. I. du Pont de Nemours and Company, E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1278786
Aktenzeichen
EP01935081
Anmeldetag
4. Mai 2001
Veröffentlichung
4. Januar 2006
Erteilung
4. Januar 2006
Rechtsraum
EP
IPC
C08F214/18C09D127/12G03F7/039H01L21/00C08F220/10C09D7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
E. I. du Pont de Nemours and Company
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 DuPont

US-amerikanischer Chemie- und Materialkonzern mit Sitz in Wilmington, Delaware. DuPont entwickelt Spezialchemikalien, Polymere, Elektronikmaterialien sowie Werkstoffe für Industrie, Bauwesen, Elektronik und Gesundheitswesen.

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