Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Nanostrukturen

EP1279068 Art B1 9. Juli 2014

Anmelder: QuNano AB, BTG INTERNATIONAL LIMITED 🇸🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1279068
Aktenzeichen
EP01928066
Anmeldetag
4. Mai 2001
Veröffentlichung
9. Juli 2014
Erteilung
9. Juli 2014
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00G03F7/20B05D1/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
QuNano AB
BTG INTERNATIONAL LIMITED
Land
🇸🇪 Schweden
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