Ozon-Verstärktes Silylierungsverfahren zur Erhöhung des Ätzwiderstands von Dünnen Resistschichten

EP1279072 Art B1 6. Oktober 2004

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1279072
Aktenzeichen
EP01927263
Anmeldetag
19. April 2001
Veröffentlichung
6. Oktober 2004
Erteilung
6. Oktober 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/40G03F7/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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