Wafertransportsystem, Wafertransportverfahren und ein automatisch geführtes Transportsystem
Anmelder: MURATA KIKAI KABUSHIKI KAISHA, TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1280186
- Aktenzeichen
- EP02014852
- Anmeldetag
- 4. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 24. Februar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MURATA KIKAI KABUSHIKI KAISHA
TOKYO ELECTRON LIMITED - Land
- 🇯🇵 Japan
Murata Kikai (Muratec) ist ein japanischer Hersteller von Textilmaschinen und Logistiksystemen mit Sitz in Kyoto, unabhängig vom Elektronikkonzern Murata Manufacturing. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verpackungs- und Fördertechnik sowie Textiltechnik, ergänzt um Nachrichtentechnik. Die Anmeldungen aus den Jahren 2000 bis 2008 betreffen unter anderem Spleißdüsen und automatisierte Lagersysteme.
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Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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