Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung eines Manipulationszustands und zur Isolation einer Schaltung davon

EP1281091 Art A1 5. Februar 2003

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1281091
Aktenzeichen
EP01922385
Anmeldetag
14. März 2001
Veröffentlichung
5. Februar 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G01R31/26G11C8/00H01L21/66G11C16/22G11C7/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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