Verfahren zum Präzisen Bearbeiten einer Mikrostruktur

EP1281666 Art A1 5. Februar 2003

Anmelder: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1281666
Aktenzeichen: EP01912467
Anmeldetag: 16. März 2001
Veröffentlichung: 5. Februar 2003
Rechtsraum: EP
IPC: B82B3/00H01L21/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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