Vorrichtung und Verfahren zur Reglung der Temperatur eines Substrats
EP1282157
Art A3
31. März 2004
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1282157
- Aktenzeichen
- EP02255150
- Anmeldetag
- 23. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 31. März 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
10.659 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Beresford, Keith Denis Lewis
London, Großbritannien
4.132
Patente gesamt
33
Fachgebiete
38
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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TBK-Patent · München