Verfahren zur Herstellung Integrierter Schaltungen
EP1282911
Art B1
5. September 2018
Anmelder: ASM INTERNATIONAL N.V., ASM Microchemistry Oy 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1282911
- Aktenzeichen
- EP01934057
- Anmeldetag
- 15. Mai 2001
- Veröffentlichung
- 5. September 2018
- Erteilung
- 5. September 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/321H01L21/02H01L21/768H01L21/285H01L21/3105
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASM INTERNATIONAL N.V.
ASM Microchemistry Oy - Land
- 🇳🇱 Niederlande
Fachgebiete
Vertreten von
Sundman, Christoffer
Helsinki, Finnland
67
Patente gesamt
15
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Laine IP Oy
Laine IP Oy · Helsinki
-
Seppo Laine Oy
Seppo Laine Oy · Helsinki