Trägerplatte für Wafer für eine Wafer Poliervorrichtung und Verfahren zur Herstellung dieser Platte
EP1283089
Art A3
26. März 2003
Anmelder: IBIDEN CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1283089
- Aktenzeichen
- EP02021015
- Anmeldetag
- 21. März 2000
- Veröffentlichung
- 26. März 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B41/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IBIDEN CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ibiden
Ibiden ist ein japanischer Hersteller elektronischer Materialien mit Sitz in Ogaki, spezialisiert auf IC-Substrate für Halbleiter sowie Keramikprodukte für die Automobil- und Elektronikindustrie.
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Vertreten von
Browne, Robin Forsythe
Leeds, Großbritannien
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