Verfahren zur Implantierung von Ionen in ein Target
EP1284304
Art A3
7. April 2004
Anmelder: NISSIN ION EQUIPMENT CO., LTD., Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1284304
- Aktenzeichen
- EP02255591
- Anmeldetag
- 9. August 2002
- Veröffentlichung
- 7. April 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/48H01J37/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NISSIN ION EQUIPMENT CO., LTD.
Nissin Electric Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nissin Electric
Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.
274 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Ward, David Ian
Birmingham, Großbritannien
501
Patente gesamt
32
Fachgebiete
24
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mosey, Stephen George
NoneBirmingham