Siliziumhalbleitersubstrat und Vefahren zu seiner Herstellung

EP1284311 Art B1 8. Februar 2006

Anmelder: Siltronic AG, Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1284311
Aktenzeichen
EP02017733
Anmeldetag
8. August 2002
Veröffentlichung
8. Februar 2006
Erteilung
8. Februar 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/322C30B29/06C30B33/00C30B15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Siltronic AG
Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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