Gasgehäuseaufbau, Bestehend aus Sorbensbasierter Gasspeicherung und Verteilsystem

EP1284806 Art A1 26. Februar 2003

Anmelder: ENTEGRIS INC., ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1284806
Aktenzeichen
EP01930952
Anmeldetag
27. April 2001
Veröffentlichung
26. Februar 2003
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/04B01D53/22F17C11/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ENTEGRIS INC.
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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Kanzlei
Fairfield IP Limited
539
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1
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