Gasgehäuseaufbau, Bestehend aus Sorbensbasierter Gasspeicherung und Verteilsystem
EP1284806
Art A1
26. Februar 2003
Anmelder: ENTEGRIS INC., ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1284806
- Aktenzeichen
- EP01930952
- Anmeldetag
- 27. April 2001
- Veröffentlichung
- 26. Februar 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/04B01D53/22F17C11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS INC.
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar