Verfahren zur Steuerung eines Ätzprozesses für Metallschichten und Regenerieren des Ätzmittels für einen Ätzprozess für Metallische Schichten auf der Grundlage eines Spektrometers im Nahen Infrarotbereich
EP1285310
Art A1
26. Februar 2003
Anmelder: Dongjin Semichem Co., Ltd. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1285310
- Aktenzeichen
- EP01917911
- Anmeldetag
- 27. März 2001
- Veröffentlichung
- 26. Februar 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23F1/00C23F1/46G01N21/35H01L21/3213
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Dongjin Semichem Co., Ltd.
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Dongjin Semichem
Der Anmelder ist ein südkoreanischer Hersteller von Chemikalien für die Halbleiter- und Displayindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Klebstoffe, Optik und Kunststofftechnik, insbesondere Fotoresists und Materialien für Dünnschichtprozesse. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Vertreten von
Merkle, Gebhard
München, Deutschland
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Patente gesamt
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9
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Schwerpunkte