Positionierapparat und Belichtungsapparat, Verfahren zum Betreiben eines Positionierapparats und Verfahren zur Herstellung von Bauelementen
EP1286221
Art B1
27. Juni 2012
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1286221
- Aktenzeichen
- EP02255684
- Anmeldetag
- 14. August 2002
- Veröffentlichung
- 27. Juni 2012
- Erteilung
- 27. Juni 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
19.221 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Beresford, Keith Denis Lewis
London, Großbritannien
4.132
Patente gesamt
33
Fachgebiete
38
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
TBK
TBK · München
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TBK-Patent
TBK-Patent · München