Verfahren zur Herstellung eines Transmissionsmodulators für die Mikrolithographie im Tiefultraviolett und Modulator Erhalten durch Dieses Verfahren
EP1287178
Art A1
5. März 2003
Anmelder: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1287178
- Aktenzeichen
- EP01936569
- Anmeldetag
- 17. Mai 2001
- Veröffentlichung
- 5. März 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/26G03F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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Fachgebiete
Vertreten von
Habasque, Etienne J. Jean-François
Paris, Frankreich
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