Vorrichtung und Verfahren zur Bildung eines Musters unter Verwendung einer Kristallstruktur eines Materials

EP1287549 Art A1 5. März 2003

Anmelder: SNU R&DB Foundation, Kim, Ki-Bum 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1287549
Aktenzeichen: EP02716485
Anmeldetag: 24. Januar 2002
Veröffentlichung: 5. März 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/26G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SNU R&DB Foundation
Kim, Ki-Bum
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 SNU R&DB Foundation

Südkoreanische Stiftung der Seoul National University für Forschungsförderung und Technologietransfer, verwaltet Patente und Kooperationen mit der Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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