Zusammensetzung zur Reinigung nach einer Chemisch-Mechanischen Planarisierung
EP1287550
Art B1
24. März 2010
Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC., ESC Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1287550
- Aktenzeichen
- EP01942043
- Anmeldetag
- 6. Juni 2001
- Veröffentlichung
- 24. März 2010
- Erteilung
- 24. März 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3105
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
ESC Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Vertreten von
Marx, Lothar
München, Deutschland
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