Zusammensetzung zur Reinigung nach einer Chemisch-Mechanischen Planarisierung

EP1287550 Art B1 24. März 2010

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC., ESC Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1287550
Aktenzeichen
EP01942043
Anmeldetag
6. Juni 2001
Veröffentlichung
24. März 2010
Erteilung
24. März 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3105
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
ESC Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Marx, Lothar München, Deutschland
64
Patente gesamt
25
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Medizintechnik & Gesundheit Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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