Verfahren zur Herstellung dünner Oxid- oder Nitridschichten

EP1288329 Art A1 5. März 2003

Anmelder: C C R GmbH Beschichtungstechnologie 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1288329
Aktenzeichen
EP01121046
Anmeldetag
3. September 2001
Veröffentlichung
5. März 2003
Rechtsraum
EP
IPC
C23C8/36H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
C C R GmbH Beschichtungstechnologie
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Eggert, Hans-Gunther, Dr Köln, Deutschland
10
Patente gesamt
8
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Hochbau & Gebäudetechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Medizintechnik & Gesundheit Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
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