Vakuumbehandlungsanlage und Verfahren zum Behandeln eines Gegenstandes

EP1288332 Art A3 21. April 2004

Anmelder: TDK Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1288332
Aktenzeichen
EP02019443
Anmeldetag
30. August 2002
Veröffentlichung
21. April 2004
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/56H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TDK Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 TDK Corporation

TDK Corporation ist ein japanischer Hersteller elektronischer Bauteile, bekannt für Kondensatoren, Sensoren, Batterien und Magnetwerkstoffe.

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