Turbomolekularpumpe

EP1288502 Art B1 17. März 2010

Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1288502
Aktenzeichen
EP02017820
Anmeldetag
8. August 2002
Veröffentlichung
17. März 2010
Erteilung
17. März 2010
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/58
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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