Verfahren und Vorrichtung zum Bonden und Debonden von Systemwafern auf Trägerwafern

EP1289007 Art B1 2. November 2005

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1289007
Aktenzeichen
EP02014551
Anmeldetag
1. Juli 2002
Veröffentlichung
2. November 2005
Erteilung
2. November 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Infineon Technologies AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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