Elektronenstrahllithographie

EP1290685 Art A1 12. März 2003

Anmelder: Singulus Mastering B.V., OTB Group B.V., ODME International B.V., NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1290685
Aktenzeichen
EP01926238
Anmeldetag
1. Mai 2001
Veröffentlichung
12. März 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G11B7/26H01J37/317
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Singulus Mastering B.V.
OTB Group B.V.
ODME International B.V.
NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Kanzlei
Ab Ovo Patents B.V. Sittard-Geleen, Niederlande

Ab Ovo Patents & Trademarks, 2009 gegründete Kanzlei für geistiges Eigentum in Sittard-Geleen (Niederlande), berät zu Patenten, Marken und Designs mit Schwerpunkt Maschinenbau, tätig im südlichen Teil der Niederlande und um Maastricht/Aachen.

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