Hochfrequenz-Plasmaquelle

EP1290926 Art B1 8. April 2015

Anmelder: CCR GmbH Beschichtungstechnologie 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1290926
Aktenzeichen
EP01913824
Anmeldetag
21. Februar 2001
Veröffentlichung
8. April 2015
Erteilung
8. April 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H05H1/46H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
CCR GmbH Beschichtungstechnologie
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Eggert, Hans-Gunther, Dr Köln, Deutschland
10
Patente gesamt
8
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Hochbau & Gebäudetechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Medizintechnik & Gesundheit Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
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