Multischicht-Spiegel für das ferne UV, und Hertellungsverfahren für solche Spiegel mit verringerten Aberration

EP1291680 Art A2 12. März 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1291680
Aktenzeichen
EP02255926
Anmeldetag
27. August 2002
Veröffentlichung
12. März 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G02B5/08B29D11/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen
NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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