Vorrichtung zum Nachweis einer Feinstruktur an der Oberfläche einer Probe und Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung

EP1291900 Art B1 12. Januar 2011

Anmelder: EBARA CORPORATION, Kabushiki Kaisha Toshiba, KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 🇯🇵

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

373 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

5.205 Patente in unserer Datenbank

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

Geyer, Ulrich F München, Deutschland

481

Patente gesamt

Fachgebiete

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Akustik, Musik & Datenspeicherung Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Textiltechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Weitere Vertreter