Verfahren und System zur Bestimmung der Annehmbarkeit einer Fluidabgabe
EP1292398
Art B1
9. August 2006
Anmelder: ENTEGRIS, INC., Mykrolis Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1292398
- Aktenzeichen
- EP00941554
- Anmeldetag
- 19. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 9. August 2006
- Erteilung
- 9. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B05C11/08B05C11/10G01F3/00H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS, INC.
Mykrolis Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
1.106 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wenning, Ekkehard
München, Deutschland
45
Patente gesamt
16
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte