Verfahren zur Herstellung einer Elektronischen Komponente mit Selbstjustierten Source, Drain und Gate in Damaszen-Technologie

EP1292974 Art B1 9. August 2006

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1292974
Aktenzeichen
EP01945378
Anmeldetag
8. Juni 2001
Veröffentlichung
9. August 2006
Erteilung
9. August 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/336H01L21/8239H01L21/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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