Rutheniumkomplex, Verfahren zu dessen Herstellung und Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht

EP1293509 Art B1 24. März 2010

Anmelder: TOSOH CORPORATION, Tosoh Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1293509
Aktenzeichen
EP02020414
Anmeldetag
10. September 2002
Veröffentlichung
24. März 2010
Erteilung
24. März 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02C23C16/18C07F17/02C07F15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOSOH CORPORATION
Tosoh Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tosoh Corporation

Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.

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