Plasma-Cvd-Vorrichtung und Verfahren
EP1293588
Art B1
16. Dezember 2009
Anmelder: IHI Corporation, Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd., ANELVA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1293588
- Aktenzeichen
- EP01932112
- Anmeldetag
- 17. Mai 2001
- Veröffentlichung
- 16. Dezember 2009
- Erteilung
- 16. Dezember 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/509H01L21/205H01L31/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IHI Corporation
Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd.
ANELVA CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
IHI Corporation
Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Schwermaschinenbau, Luft- und Raumfahrttriebwerke sowie Anlagenbau.
1.709 Patente in unserer Datenbank