Herstellung von selbstorganisierten gestapelten Inseln für selbstjustierte Kontakte von Strukturen mit kleinen Abmessungen
EP1294016
Art A1
19. März 2003
Anmelder: PAUL SCHERRER INSTITUT 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1294016
- Aktenzeichen
- EP01122320
- Anmeldetag
- 18. September 2001
- Veröffentlichung
- 19. März 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/28H01L29/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PAUL SCHERRER INSTITUT
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
PAUL Scherrer Institut
Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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Heusch, Christian
Zug, Schweiz
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