Verfahren und Vorrichtung zur "in-Situ" Überwachung der Dicke Während des Chemisch-Mechanischen Planiervorganges
EP1294534
Art B1
18. Januar 2006
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1294534
- Aktenzeichen
- EP01937595
- Anmeldetag
- 18. Mai 2001
- Veröffentlichung
- 18. Januar 2006
- Erteilung
- 18. Januar 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B49/02B24B49/12
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Bayliss, Geoffrey Cyril
London, Großbritannien
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