Waferhalterad mit einer Andrückvorrichtung
EP1294958
Art A1
26. März 2003
Anmelder: Forschungszentrum Karlsruhe GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1294958
- Aktenzeichen
- EP01951616
- Anmeldetag
- 21. Juni 2001
- Veröffentlichung
- 26. März 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/50H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Forschungszentrum Karlsruhe
Forschungszentrum Karlsruhe war eine deutsche Großforschungseinrichtung, die 2009 im Karlsruher Institut für Technologie (KIT) aufging. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Mess- und Halbleitertechnik, ergänzt durch Medizin- und Chemietechnik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus den Jahren 2000 bis 2009.
295 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Rückert, Friedrich
Karlsruhe, Deutschland
59
Patente gesamt
21
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte